Moeletsi oa tekheniki oa RSM o tla arolelana le uena melemo ea lipheo tsa cylindrical le planar magnetron sputtering?Ha ho bapisoa le liphofu tse ling tsa magnetron sputtering targets, cylindrical and planar magnetron sputtering targets li boloka melemo ea ho kopanya hantle ha lipehelo tsa polanete ea kgutlonne, 'me li ka eketsa tšebeliso ea lipehelo ka litsela tse peli tse latelang:
(1) Ha lihlopha tse peli (tse 'nè) tsa likoting tsa annular holim'a sepheo li fihla botebong bo itseng, sepheo sa sepheo (karolo ea makenete) se ka potoloha ka 45 ° ho ea ho tube e lebisitsoeng, e le hore libaka tse ling tse holim'a tube e lebisitsoeng. tse e-s'o rusoe li ka sebelisoa;
(2) Ha sepheo sa mantlha sa cylindrical le planar magnetron sputtering target se entsoe e le sepheo se potolohang (sepheo sa mantlha se potoloha nakong ea sputtering), bokaholimo ba sepheo se ka aroloa ka mokhoa o ts'oanang ka lera ka lera ntle le likoting.Nakong ena, sepheo se tla sebelisoa ka katleho, 'me sekhahla sa tšebeliso ea sepheo se ka fihla ho 50% ~ 60% Ha thepa e lebisitsoeng e le tšepe ea bohlokoa, ho hlakile hore sena ke sa bohlokoa haholo.
Ka ho sebelisa molao-motheo oa magnet e nang le pole shoe ka har'a coaxial cylindrical magnetron sputtering target ho rarolla bothata ba ho qetela matla a khoheli, sepheo sa sefofane se nang le mahlakore a mabeli se ka fetoloa sepheo sa cylindrical le planar magnetron sputtering target, Sepheo se ka eketsa sekhahla sa tšebeliso ea sepheo. ha u ntse u boloka ho ts'oana ho ts'oana hantle ha sefofane sa khutlonnetsepa E le ho ntlafatsa melemo ea moruo.
Nako ea poso: Jul-04-2022