Joalo ka ha bohle re tseba, mokhoa oa nts'etsopele ea theknoloji ea thepa e shebiloeng e amana haufi-ufi le mokhoa oa nts'etsopele ea theknoloji ea lifilimi indastering ea lits'ebetso tse tlase.Ka ntlafatso ea theknoloji ea lihlahisoa tsa lifilimi kapa likarolo tsa indasteri ea ts'ebeliso, thekenoloji e reretsoeng le eona e lokela ho fetoha.Ka mohlala, bahlahisi ba Ic ba sa tsoa lebisa tlhokomelo ho nts'etsopele ea lisebelisoa tse tlaase tsa koporo tsa resistivity, tse lebeletsoeng hore li nke sebaka se seholo sa filimi ea aluminium ea pele lilemong tse 'maloa tse latelang, kahoo nts'etsopele ea lipakane tsa koporo le lipakane tsa bona tse hlokahalang tsa lithibelo li tla potlaka.
Ho phaella moo, lilemong tsa morao tjena, flat panel display (FPD) e nketse sebaka sa "cathode-ray tube" (CRT) -e thehiloeng k'homphieutha le 'maraka oa thelevishene.E tla eketsa haholo tlhoko ea tekheniki le 'maraka bakeng sa lipehelo tsa ITO.'Me joale ho na le theknoloji ea polokelo.Tlhokahalo ea li-hard drive tse matla, tse nang le matla a maholo le li-disc tse ka hlakolohang tse ngata haholo e ntse e eketseha.Tsena tsohle li lebisitse phetohong ea tlhoko ea lisebelisoa tse shebiloeng indastering ea kopo.Ho tse latelang, re tla hlahisa likarolo tsa mantlha tsa ts'ebeliso ea sepheo le mokhoa oa nts'etsopele ea sepheo mafapheng ana.
1. Microelectronics
Liindastering tsohle tsa ts'ebeliso, indasteri ea semiconductor e na le litlhoko tse thata ka ho fetisisa tsa boleng bakeng sa lifilimi tse hlabollang.Li-wafers tsa silicon tsa 12 inch (300 epistaxis) li se li entsoe.Bophara ba khokahanyo boa fokotseha.Litlhoko tsa bahlahisi ba silicon oafer bakeng sa thepa e shebiloeng ke tekanyo e kholo, bohloeki bo phahameng, karohano e tlaase le lijo-thollo tse ntle, tse hlokang lisebelisoa tse lebisitsoeng ho ba le microstructure e ntle.Bophahamo ba karolo ea kristale le ho ts'oana ha lintho tse shebiloeng li nkuoe e le lintlha tsa bohlokoa tse amang sekhahla sa ho beoa ha filimi.
Ha e bapisoa le aluminium, koporo e na le khanyetso e phahameng ea electromobility le resistivity e tlaase, e ka finyellang litlhoko tsa theknoloji ea conductor ka submicron wiring e ka tlase ho 0.25um, empa e tlisa mathata a mang: matla a tlaase a ho khomarela pakeng tsa koporo le lisebelisoa tsa organic medium.Ho feta moo, ho bonolo ho itšoara, e leng se lebisang ho bola ha khokahanyo ea koporo le ho senyeha ha potoloho nakong ea tšebeliso ea chip.E le ho rarolla bothata bona, lera la mokoallo le lokela ho behoa pakeng tsa koporo le lera la dielectric.
Lisebelisoa tse shebiloeng tse sebelisoang mokong oa mokoallo oa khokahanyo ea koporo li kenyelletsa Ta, W, TaSi, WSi, joalo-joalo Empa Ta le W ke litšepe tse refractory.Ho batla ho le thata ho etsa, 'me li-alloys tse kang molybdenum le chromium li ntse li ithutoa e le lisebelisoa tse ling.
2. Bakeng sa pontsho
Flat panel display (FPD) e amme haholo mochine oa k'homphieutha oa cathode-ray (CRT) -e thehiloeng k'homphieutha le 'maraka oa thelevishene ho theosa le lilemo,' me e tla boela e tsamaise thekenoloji le tlhokahalo ea 'maraka ea thepa e lebisitsoeng ke ITO.Ho na le mefuta e 'meli ea lipehelo tsa ITO kajeno.E 'ngoe ke ho sebelisa nanometer state ea indium oxide le tin oxide phofo ka mor'a ho sintering, e' ngoe ke ho sebelisa sepheo sa indium tin alloy.Filimi ea ITO e ka etsoa ke DC reactive sputtering on indium-tin alloy target, empa sebaka seo ho shebiloeng ho sona se tla oxidize le ho ama sekhahla sa sputtering, 'me ho thata ho fumana sepheo se seholo sa alloy.
Matsatsing ana, mokhoa oa pele o sebelisoa ka kakaretso ho hlahisa thepa e shebiloeng ea ITO, e leng ho roala ha metsi ka magnetron sputtering reaction.E na le sekhahla se potlakileng sa deposition.Botenya ba filimi bo ka laoloa ka nepo, conductivity e phahame, ho lumellana ha filimi ho molemo, 'me ho khomarela substrate ho matla.Empa ho thata ho etsa thepa e reretsoeng, hobane indium oxide le tin oxide ha li kopane habonolo.Ka kakaretso, ZrO2, Bi2O3 le CeO li khethiloe e le li-additives tsa sintering, 'me thepa e lebisitsoeng e nang le boima ba 93% ~ 98% ea boleng ba theory e ka fumanoa.Ts'ebetso ea filimi ea ITO e entsoeng ka tsela ena e na le kamano e ntle le li-additives.
Thibelo e thibelang ea filimi ea ITO e fumanoang ka ho sebelisa thepa e joalo e reretsoeng ho fihla ho 8.1 × 10n-cm, e haufi le ho hanyetsa filimi e hloekileng ea ITO.Boholo ba FPD le khalase ea conductive e kholo haholo, 'me bophara ba khalase ea conductive e ka fihla ho 3133mm.Bakeng sa ho ntlafatsa ts'ebeliso ea thepa e shebiloeng, lisebelisoa tse shebiloeng tsa ITO tse nang le libopeho tse fapaneng, joalo ka sebopeho sa cylindrical, lia ntlafatsoa.Ka 2000, Komisi ea Naha ea Meralo ea Ntlafatso le Lekala la Saense le Thekenoloji li kenyelelitse lipehelo tse kholo tsa ITO ho Tataiso ea Libaka tsa Bohlokoa tsa Indasteri ea Tlhahisoleseding eo Hajoale e Behiloeng Pele Bakeng sa Ntlafatso.
3. Tšebeliso ea polokelo
Mabapi le thekenoloji ea polokelo, nts'etsopele ea li-hard disk tse matla le tse nang le matla a maholo li hloka palo e kholo ea lisebelisoa tsa filimi ea ho tsilatsila.Filimi e kopantsoeng ea CoF~Cu multilayer ke sebopeho se sebelisoang haholo sa filimi e kholo ea ho tsilatsila.Thepa ea TbFeCo alloy target material e hlokahalang bakeng sa magnetic disc e ntse e tsoela pele ho ntlafatsoa.Magnetic disc e entsoeng ka TbFeCo e na le litšoaneleho tsa bokhoni bo boholo ba polokelo, bophelo bo bolelele ba ts'ebeletso le ho hlakoloa khafetsa ho sa kopane.
Antimony germanium telluride based phase change memory (PCM) e bonts'itse bokhoni ba bohlokoa ba khoebo, e fetoha karolo ea NOR flash memory le 'maraka oa DRAM theknoloji e' ngoe ea polokelo, leha ho le joalo, ts'ebetsong e fokotsehile ka potlako e 'ngoe ea liphephetso tse tseleng e teng ke ho hloka ho seta bocha. tlhahiso ea hona joale ka theoleloa ka ho eketsehileng tiisitsoe ka ho feletseng yuniti.Ho fokotsa ts'ebetso ea morao-rao ho fokotsa tšebeliso ea matla a mohopolo, ho lelefatsa bophelo ba betri, le ho ntlafatsa bandwidth ea data, likarolo tsohle tsa bohlokoa ho lisebelisoa tsa kajeno tsa data-centric, tse nkehang habonolo haholo.
Nako ea poso: Aug-09-2022