Haufinyane tjena, metsoalle e mengata e ile ea botsa ka litšobotsi tsa liphofu tsa molybdenum sputtering.Lefapheng la elektroniki, molemong oa ho ntlafatsa ts'ebetso ea sputtering le ho netefatsa boleng ba lifilimi tse kentsoeng, ke litlhokahalo life bakeng sa litšobotsi tsa sepheo sa molybdenum sputtering?Joale litsebi tsa tekheniki tsa RSM li tla re hlalosetsa eona.
1. Bohloeki
Bohloeki bo phahameng ke tlhokahalo ea mantlha ea sepheo sa molybdenum sputtering.Ha ho hloeka ha sepheo sa molybdenum, ho etsa hore filimi e hlaphoheloe e be betere.Ka kakaretso, bohloeki ba sepheo sa molybdenum sputtering e lokela ho ba bonyane 99.95% (karolo ea boima, e tšoanang ka tlase).Leha ho le joalo, ka ntlafatso e tsoelang pele ea boholo ba karoloana ea khalase lefapheng la LCD, bolelele ba mohala bo hlokeha hore bo atolosoe 'me bophara ba mohala bo hlokehe hore bo be bobebe.E le ho netefatsa ho ts'oana ha filimi le boleng ba mohala, ho hloeka ha sepheo sa molybdenum sputtering ho boetse ho hlokahala ho eketsoa ka mokhoa o nepahetseng.Ka hona, ho ea ka boholo ba karolo e nyenyane ea khalase ea sputtered le tikoloho ea tšebeliso, ho hloeka ha sepheo sa molybdenum sputtering ho hlokahala hore e be 99.99% - 99.999% kapa esita le ho feta.
Molybdenum sputtering target e sebelisoa e le mohloli oa cathode ho sputtering.Litšila tse tiileng le mouoane oa oksijene le oa metsi ka har'a li-pores ke mehloli e meholo ea tšilafalo ea lifilimi tse behiloeng.Ho phaella moo, indastering ea elektronike, hobane li-ion tsa tšepe tsa alkali (Na, K) li bonolo ho fetoha li-ion tsa selefouno ka lera la ho kenya letsoho, ts'ebetso ea sesebelisoa sa pele e fokotsehile;Lintho tse kang uranium (U) le titanium (TI) li tla lokolloa α X-ray, e leng se tla fella ka ho senyeha ha bonolo ha lisebelisoa;Li-ion tsa tšepe le tsa nickel li tla baka ho lutla ha sebopeho le ho eketseha ha likarolo tsa oksijene.Ka hona, ts'ebetsong ea ho lokisa sepheo sa molybdenum sputtering, likarolo tsena tsa litšila li hloka ho laoloa ka thata ho fokotsa litaba tsa tsona ho sepheo.
2. Boholo ba lijo-thollo le kabo ea boholo
Ka kakaretso, sepheo sa molybdenum sputtering ke sebopeho sa polycrystalline, 'me boholo ba lijo-thollo bo ka tloha ho micron ho ea ho millimeter.Liphetho tsa liteko li bonts'a hore sekhahla sa sputtering sa sepheo sa lijo-thollo tse ntle se potlakile ho feta sa sepheo sa lijo-thollo tse mahoashe;Bakeng sa sepheo se nang le phapang e nyane ea boholo ba lijo-thollo, kabo ea botenya ea filimi e behiloeng le eona e tšoana haholo.
3. Ho shebana le kristale
Hobane liathomo tse shebiloeng li bonolo ho hlajoa ka mokhoa o ikhethileng ka lehlakoreng la tlhophiso e haufi ea liathomo ka lehlakoreng la hexagonal nakong ea sputtering, e le ho fihlela sekhahla se phahameng ka ho fetesisa, sekhahla sa sputtering se atisa ho eketseha ka ho fetola sebopeho sa kristale sa sepheo.Tataiso ea kristale ea sepheo e boetse e na le tšusumetso e kholo ho tekano ea botenya ba filimi e hlabositsoeng.Ka hona, ho bohlokoa haholo ho fumana sebopeho se itseng sa kristale se shebaneng le ts'ebetso ea sputtering ea filimi.
4. Ho teteana
Ts'ebetsong ea ho fafatsa, ha sepheo sa sputtering se nang le sets'oants'o se tlase se phatlohile, khase e teng ka har'a masoba a ka hare ea sepheo e lokolloa ka tšohanyetso, e leng se bakang ho phatloha ha likaroloana kapa likaroloana tsa boholo bo boholo, kapa thepa ea filimi e hlaseloa. ka li-electrone tsa bobeli ka mor'a ho thehoa ha filimi, ho fella ka ho phatloha ha likaroloana.Ponahalo ea likaroloana tsena e tla fokotsa boleng ba filimi.E le ho fokotsa li-pores ka sepheo se tiileng le ho ntlafatsa ts'ebetso ea filimi, sepheo sa sputtering hangata se hlokeha ho ba le sekhahla se phahameng.Bakeng sa sepheo sa molybdenum sputtering, letsoalo la eona le lekanyelitsoeng e lokela ho ba ho feta 98%.
5. Ho tlama ha sepheo le chassis
Ka kakaretso, sepheo sa molybdenum sputtering se tlameha ho hokahanngoa le chassis ea koporo e se nang oksijene (kapa aluminium le lisebelisoa tse ling) pele e fafatsa, e le hore conductivity ea mocheso ea sepheo le chassis e be e ntle nakong ea ts'ebetso ea sputtering.Ka mor'a ho tlama, tlhahlobo ea ultrasonic e tlameha ho etsoa ho netefatsa hore sebaka se se nang li-bonding sa bobeli se ka tlase ho 2%, e le ho finyella litlhoko tsa matla a phahameng a sputtering ntle le ho oa.
Nako ea poso: Jul-19-2022