Lilemong tsa morao tjena, ka tsoelo-pele ea theknoloji e kopanetsoeng ea potoloho (IC), lisebelisoa tse amanang le lipotoloho tse kopantsoeng li 'nile tsa ntlafatsoa ka potlako.Ultra high purity aluminium alloy sputtering target, e le thepa e tšehetsang tlhahiso ea li-interconnect tsa tšepe tse kopantsoeng tsa potoloho, e fetohile taba e chesang haholo lipatlisisong tsa morao tjena tsa malapeng.mohlophisi oa RSM o tla re bontša litšobotsi tsa ho hloeka ha aluminium alloy sputtering target.
E le ho ntlafatsa ts'ebetso ea sputtering ea sepheo sa magnetron sputtering le ho netefatsa boleng ba lifilimi tse behiloeng, liteko tse ngata li bontša hore ho na le litlhoko tse itseng bakeng sa sebopeho, microstructure le lijo-thollo tsa ultra-high purity aluminium alloy sputtering target.
Boholo ba lijo-thollo le tšekamelo ea lijo-thollo tsa sepheo li na le tšusumetso e kholo ho lokiseng le thepa ea lifilimi tsa IC.Liphetho li bonts'a hore sekhahla sa deposition se fokotseha ka keketseho ea boholo ba lijo-thollo;Bakeng sa sepheo sa sputtering se nang le sebopeho se ts'oanang, sekhahla sa ho fafatsa ha sepheo sa lijo-thollo tse nyane se potlakile ho feta sa sepheo sa boholo ba lijo-thollo;Ha boholo ba lijo-thollo bo lekana haholo, ho na le mofuta o tšoanang oa kabo ea botenya ba lifilimi tse kentsoeng.
Tlas'a sesebelisoa se ts'oanang sa sputtering le liparamente tsa ts'ebetso, sekhahla sa sputtering sa Al Cu alloy target se eketseha ka keketseho ea atomic density, empa ka kakaretso e tsitsitse ka mefuta e fapaneng.Phello ea boholo ba lijo-thollo ho sekhahla sa sputtering e bakoa ke phetoho ea boima ba athomo ka ho fetoha ha boholo ba lijo-thollo;Sekhahla sa deposition se angoa haholo ke mokhoa oa lijo-thollo oa sepheo sa Al Cu alloy.Motheong oa ho netefatsa hore karolo ea (200) lifofane tsa kristale, keketseho ea karolo ea (111), (220) le (311) lifofane tsa kristale li tla eketsa sekhahla sa ho beha.
Boholo ba lijo-thollo le tšekamelo ea lijo-thollo tsa ultra-high purity alloy alloy targets haholo-holo e lokisoa le ho laoloa ke ingot homogenization, hot working and recrystallization annealing.Ka nts'etsopele ea boholo ba liphaephe ho fihla ho 20.32cm (8in) le 30.48cm (12in), boholo ba sepheo le bona bo ntse bo eketseha, e leng se fanang ka litlhoko tse phahameng bakeng sa lipheo tsa aluminium alloy sputtering.E le ho netefatsa boleng ba filimi le lihlahisoa, litekanyetso tsa ts'ebetso ea sepheo li tlameha ho laoloa ka thata ho etsa junifomo ea microstructure e lebisitsoeng 'me mokhoa oa lijo-thollo o tlameha ho ba le libopeho tse matla (200) le (220) tsa sefofane.
Nako ea poso: Jun-30-2022