1. Mokhoa oa ho fafatsa Magnetron:
Magnetron sputtering e ka aroloa ka DC sputtering, medium frequency sputtering le RF sputtering.
A. DC sputtering power supply e theko e tlaase 'me boholo ba filimi e kentsoeng ha bo bobe.Ka kakaretso, libeteri tsa ka tlung tsa photothermal le lifilimi tse tšesaane li sebelisoa ka matla a fokolang, 'me sepheo sa sputtering ke tšepe ea conductive.
B. Matla a ho fafatsa a RF a phahame, 'me sepheo sa ho sputtering e ka ba sepheo se seng sa conductive kapa sepheo sa conductive.
C. Medium frequency sputtering target e ka ba target ea ceramic kapa metal target.
2. Ho hlophisoa le ho sebelisoa ha lipakane tsa sputtering
Ho na le mefuta e mengata ea lipehelo tsa sputtering, 'me mekhoa ea ho khetholla sepheo le eona e fapane.Ho ea ka sebopeho, li arotsoe ka sepheo se selelele, sepheo sa lisekoere le sepheo se pota-potileng;Ho ea ka sebopeho, e ka aroloa ka sepheo sa tšepe, sepheo sa alloy le sepheo sa metsoako ea ceramic;Ho ea ka likarolo tse fapaneng tsa kopo, e ka aroloa ka lipehelo tsa ceramic tse amanang le semiconductor, ho rekota lipakane tsa ceramic tse bohareng, lipehelo tsa li-ceramic, joalo-joalo.Indastering ena, sepheo sa sputtering se sebelisoa ho lokisa lihlahisoa tse nyane tsa filimi (hard disk, magnetic head, optical disc, joalo-joalo).Hajoale.Ka nts'etsopele e tsoelang pele ea indasteri ea tlhahisoleseling, tlhokahalo ea ho rekota lipehelo tsa ceramic tse mahareng 'marakeng e ntse e eketseha.Patlisiso le tlhahiso ea lipehelo tsa mahareng tsa ho rekota li fetohile sepheo sa tlhokomelo e kholo.
Nako ea poso: May-11-2022