Boithuto bo bocha koranteng ea Diamond le Lintho Tse Amanang e shebane le ho kengoa ha daemane ea polycrystalline ka FeCoB etchant ho etsa lipaterone.Ka lebaka la lintlafatso tsena tse ntlafetseng tsa theknoloji, bokaholimo ba taemane bo ka fumanoa ntle le tšenyo le mefokolo e fokolang.
Patlisiso: Taemane e khethang sebaka sebakeng se tiileng ho sebelisoa FeCoB e nang le paterone ea photolithographic.Mokoloto oa setšoantšo: Bjorn Wilezic/Shutterstock.com
Ka ts'ebetso ea phetiso ea boemo bo tiileng, lifilimi tsa FeCoB nanocrystalline (Fe: Co:B = 60:20:20, karo-karolelano ea atomic) li ka fihlela sepheo sa lattice le ho felisoa ha litaemane ho microstructure.
Litaemane li na le litšobotsi tse ikhethang tsa biochemical le pono, hammoho le elasticity e phahameng le matla.Ho tšoarella ha eona ho feteletseng ke mohloli oa bohlokoa oa tsoelo-pele ho machining a ultra precision (theknoloji ea ho fetola litaemane) le tsela e lebisang khatellong e feteletseng ho makholo a makholo a GPa.
Ho se khonehe ha lik'hemik'hale, ho tšoarella ha pono le ts'ebetso ea bioloji ho eketsa menyetla ea moralo oa litsamaiso tse sebelisang litšobotsi tsena tse sebetsang.Diamond e iketselitse botumo mafapheng a mechatronics, optics, sensors le data management.
E le ho nolofalletsa tšebeliso ea tsona, ho tlamahanngoa ha litaemane le mohlala oa tsona ho baka mathata a totobetseng.Reactive ion etching (RIE), plasma e kopantsoeng ka inductively (ICP), le etching e hlahisoang ke electron beam ke mehlala ea litsamaiso tse teng tse sebelisang mekhoa ea etching (EBIE).
Mehaho ea litaemane e boetse e bōpiloe ka mokhoa oa ho sebetsana le laser le focused ion beam (FIB).Sepheo sa mokhoa ona oa ho qapa ke ho potlakisa delamination hammoho le ho lumella ho ata libakeng tse kholo meahong e latellanang ea tlhahiso.Mekhoa ena e sebelisa li-etchants tsa mokelikeli (plasma, likhase le litharollo tsa metsi), tse fokotsang ho rarahana ha geometri ho ka fihlellehang.
Mosebetsi ona oa bohlokoahali o ithuta ho tlosoa ha thepa ka tlhahiso ea mouoane oa lik'hemik'hale 'me o etsa daemane ea polycrystalline e nang le FeCoB (Fe:Co:B, 60:20:20 lekholong la atomic) holim'a metsi.Tlhokomelo e kholo e lefshoa ho thehoeng ha mefuta ea TM bakeng sa etching e nepahetseng ea meaho ea li-meter ka litaemane.Taemane e ka tlase e hokahane le nanocrystalline FeCoB ka kalafo ea mocheso ho 700 ho 900 ° C bakeng sa metsotso e 30 ho isa ho e 90.
Lera le tsitsitseng la sampole ea daemane e bonts'a sebopeho se tlase sa polycrystalline.The roughness (Ra) ka hare ho karolo e 'ngoe le e' ngoe e itseng e ne e le 3.84 ± 0.47 nm, 'me kakaretso ea holim'a metsi e ne e le 9.6 ± 1.2 nm.Bokhopo (ka har'a thollo e le 'ngoe ea daemane) ea sekhahla sa tšepe sa FeCoB se kentsoeng ke 3.39 ± 0.26 nm, 'me bophahamo ba lera ke 100 ± 10 nm.
Ka mor'a hore annealing ka 800 ° C bakeng sa 30 min, tšepe holim'a botenya e ile ea eketseha ho 600 ± 100 nm, 'me bokaholimo holim'a metsi (Ra) eketseha ho 224 ± 22 nm.Nakong ea annealing, liathomo tsa carbon li hasana karolong ea FeCoB, e leng se bakang keketseho ea boholo.
Mehlala e meraro e nang le likarolo tsa FeCoB 100 nm e teteaneng e ne e futhumatsoa ka mocheso oa 700, 800, le 900 ° C, ka ho latellana.Ha mocheso oa mocheso o ka tlase ho 700 ° C, ha ho na maqhama a bohlokoa pakeng tsa daemane le FeCoB, 'me thepa e nyenyane haholo e tlosoa ka mor'a phekolo ea hydrothermal.Ho tlosoa ha thepa ho ntlafatsoa ho fihlela mocheso o ka holimo ho 800 ° C.
Ha mocheso o fihla ho 900 ° C, sekhahla sa ho chesa se ile sa eketseha habeli ha se bapisoa le mocheso oa 800 ° C.Leha ho le joalo, boemo ba sebaka se hlophisitsoeng se fapane haholo le sa tatellano ea etch e kentsoeng (FeCoB).
Leano le bonts'ang pono ea boemo bo tiileng ba ho etsa paterone: Ho khetha sebaka se tiileng sa taemane ho sebelisa FeCoB e entsoeng ka photolithographically.Mokitlane oa setšoantšo: Van Z. le Shankar MR et al., Litaemane le Lisebelisoa tse Amanang.
Mehlala ea FeCoB ea 100 nm e teteaneng ea litaemane e ile ea sebetsoa ka 800 ° C bakeng sa metsotso e 30, 60 le 90, ka ho latellana.
Bokhopo (Ra) ba sebaka se betliloeng bo ile ba khethoa e le mosebetsi oa nako ea ho arabela ho 800 ° C.The boima ba disampole ka mor'a annealing bakeng sa metsotso e 30, 60 le 90 e ne e le 186±28 nm, 203±26 nm le 212±30 nm, ka ho latellana.Ka botebo ba 500, 800, kapa 100 nm, karo-karolelano (RD) ea ho khopama ha sebaka se betliloeng ho ea botebong ba etch ke 0.372, 0.254, le 0.212, ka ho latellana.
Bokhopo ba sebaka se etched ha bo eketsehe haholo ka botebo bo ntseng bo eketseha.Ho fumanoe hore mocheso o hlokahalang bakeng sa karabelo lipakeng tsa taemane le HM etchant o feta 700°C.
Liphello tsa phuputso li bontša hore FeCoB e ka tlosa litaemane ka katleho ka lebelo le potlakileng ho feta Fe kapa Co feela.
Nako ea poso: Aug-31-2023