Sepheo sa sputtering ke thepa ea elektronike e etsang filimi e tšesaane ka ho kopanya ntho e kang alloy kapa metal oxide ho substrate ea elektroniki boemong ba athomo.Har'a tsona, sepheo sa sputtering bakeng sa filimi e ntšo e sebelisetsoa ho etsa filimi holim'a EL kapa phanele ea kristale ea metsi ho fifatsa mohala le ho fokotsa khanya e bonahalang ea leseli (ts'ebetso e tlase) ea mohala oa TFT.Sepheo sa sputter se na le melemo le liphello tse latelang.Ha ho bapisoa le lihlahisoa tse fetileng, e thusa ho ntlafatsa boemo bo phahameng ba botle le bolokolohi ba moralo oa lipontšo tse fapa-fapaneng, le ho fokotsa lerata le bakoang ke mabone a khanyang a lihlahisoa tse amanang le semiconductor.
Melemo le litlamorao tsa sepheo sa aluminium:
(1) Ka mor'a hore sepheo sa aluminium se thehoe holim'a mohala, leseli le bonahalang le ka fokotsoa
ha e bapisoa le lihlahisoa tse fetileng, e ka fihlela ponahalo e tlase.
(2) DC sputtering e ka etsoa ntle le khase e sebetsang
ha ho bapisoa le lihlahisoa tse fetileng, hoa thusa ho hlokomela homogeneity ea filimi ea li-substrates tse kholo.
(3) Ka mor'a hore filimi e thehoe, mokhoa oa ho khabisa o ka etsoa hammoho le mohala
fetola thepa ho ea ka tshebetso e teng etching ea moreki, 'me ka etch hammoho le wiring ntle le ho fetola tshebetso e teng.Ho feta moo, k'hamphani e tla fana ka ts'ehetso ho latela maemo a sputtering a bareki.
(4) Ho hanyetsa mocheso o babatsehang, ho hanyetsa metsi le alkali
ntle le ho hanyetsa metsi le ho hanyetsa alkali, e boetse e na le mocheso o phahameng oa mocheso, kahoo litšoaneleho tsa filimi li ke ke tsa fetoha ts'ebetsong ea ts'ebetso ea lithapo tsa TFT.
Nako ea poso: Aug-10-2022