Re tlameha ho tloaelana haholo le sepheo hona joale, hona joale 'maraka o reriloeng le ona o ntse o eketseha, se latelang ke sona ts'ebetso e kholo ea sepheo sa sputtering se arolelanoang ke mohlophisi oa RSM.
Bohloeki
Ho hloeka ha lintho tse shebiloeng ke e 'ngoe ea li-index tsa mantlha tsa ts'ebetso, hobane bohloeki ba lintho tse shebiloeng bo na le tšusumetso e kholo ts'ebetsong ea filimi e tšesaane.Leha ho le joalo, ts'ebetsong e sebetsang, litlhoko tsa bohloeki ba lisebelisoa tse lebisitsoeng ha li tšoane.Ka mohlala, ka tsoelo-pele e potlakileng ea indasteri ea li-microelectronics, boholo ba silicon chip bo entsoe ho tloha 6 ", 8" ho isa ho 12 ", 'me bophara ba wiring bo fokotsehile ho tloha 0.5um ho ea ho 0.25um,0.18um kapa esita le 0.13um.Nakong e fetileng, bohloeki ba 99.995% ea thepa e lebisitsoeng e ka finyella litlhoko tsa ts'ebetso ea 0.35umIC.Bohloeki ba thepa e reretsoeng ke 99.999% kapa esita le 99.9999% bakeng sa ho lokisetsa mela ea 0.18um.
Lintho tse litšila
Litšila tse ka har'a sepheo se tiileng le mouoane oa oksijene le metsi ka har'a masoba ke mehloli e meholo ea tšilafalo ea ho beoa ha filimi.Lisebelisoa tse reretsoeng merero e fapaneng li na le litlhoko tse fapaneng bakeng sa litaba tse sa hloekang tse fapaneng.Ka mohlala, lipheo tse hloekileng tsa aluminium le aluminium alloy tse sebelisoang indastering ea semiconductor li na le litlhoko tse khethehileng bakeng sa litaba tsa tšepe tsa alkali le likarolo tsa mahlaseli.
Tekano
E le ho fokotsa porosity ho sepheo se tiileng le ho ntlafatsa ts'ebetso ea filimi ea sputtering, hangata ho hlokahala hore ho be le sekhahla se phahameng sa sepheo.Boima ba sepheo ha bo ame feela sekhahla sa sputtering empa hape le thepa ea motlakase le ea optical ea filimi.Ha sepheo sa sepheo se phahame, ho etsa hore filimi e sebetse hantle.Ho phaella moo, ho eketsa boima le matla a sepheo ho etsa hore sepheo se be molemo ho mamella khatello ea mocheso nakong ea ho sputtering.Density hape ke e 'ngoe ea li-index tsa bohlokoa tsa ts'ebetso ea sepheo.
Boholo ba lijo-thollo le kabo ea boholo ba lijo-thollo
Sepheo hangata ke polycrystalline ka boholo ba lijo-thollo ho tloha ho micrometer ho ea ho millimeter.Bakeng sa sepheo se tšoanang, sekhahla sa ho fafatsa sepheo se nang le lijo-thollo tse nyenyane se potlakile ho feta sa sepheo se nang le lijo-thollo tse kholo.Kabo ea botenya ea lifilimi tse kentsoeng ke sepheo sa sputtering ka phapang e nyane ea boholo ba lijo-thollo (kabo e tšoanang) e tšoana haholo.
Nako ea poso: Aug-04-2022