Vacuum coating e bolela ho futhumatsa le ho etsa mouoane mohloling oa mouoane ka har'a vacuum kapa ho fafatsa ka bombardment e potlakileng ea ion, le ho e beha holim'a karoloana ho etsa filimi e nang le lera le le leng kapa e nang le mekhahlelo e mengata.Molao-motheo oa ho roala vacuum ke ofe?Ka mor'a moo, mohlophisi oa RSM o tla re tsebisa eona.
1. Ho roala mouoane oa vacuum
Ho roala ha mouoane ho hloka hore sebaka se pakeng tsa limolek'hule tsa mouoane kapa liathomo ho tloha mohloling oa mouoane le karoloana e ka tlas'a metsi e lokela ho ba ka tlase ho tsela e tloaelehileng ea limolek'hule tsa khase e setseng ka phaposing ea ho roala, e le ho etsa bonnete ba hore limolek'hule tsa mouoane tsa moea mouoane o ka fihla holim'a substrate ntle le ho thulana.Etsa bonnete ba hore filimi e hloekile ebile e tiile, 'me mouoane o ke ke oa oxidize.
2. Ho roala ka vacuum sputtering
Ka vacuum, ha li-ion tse potlakileng li thulana le tse tiileng, ka lehlakoreng le leng, kristale e senyehile, ka lehlakoreng le leng, e thulana le liathomo tse etsang kristale, 'me qetellong liathomo kapa limolek'hule tse holim'a sepakapaka. fafatsa ka ntle.Lintho tse silafalitsoeng li pentiloe holim'a substrate ho etsa filimi e tšesaane, e bitsoang vacuum sputter plating.Ho na le mekhoa e mengata ea ho sputtering, eo har'a eona e leng ea pele ka ho fetisisa.Ho ea ka lipheo tse fapaneng tsa cathode, e ka aroloa ka ho toba hona joale (DC) le maqhubu a phahameng (RF).Palo ea liathomo tse hasoang ka ho ama sebaka seo ho shebiloeng ho sona ka ion e bitsoa sputtering rate.Ka sekhahla se phahameng sa sputtering, lebelo la ho theha filimi le potlakile.Sekhahla sa sputtering se amana le matla le mofuta oa li-ion le mofuta oa thepa e shebiloeng.Ka kakaretso, sekhahla sa ho phatloha se eketseha ka keketseho ea matla a ione ea motho, 'me sekhahla sa ho phatloha ha litšepe tsa bohlokoa se phahame.
Nako ea poso: Jul-14-2022