Sepheo se na le mesebetsi e mengata le lisebelisoa tse pharaletseng likarolong tse ngata.Sesebelisoa se secha sa sputtering se batla se sebelisa limakenete tse matla ho bilika lielektrone ho potlakisa ionization ea argon ho potoloha sepheo, e leng ho eketsang monyetla oa ho thulana lipakeng tsa sepheo le li-ion tsa argon,
Eketsa sekhahla sa sputtering.Ka kakaretso, sputtering ea DC e sebelisetsoa ho roala tšepe, ha RF communication sputtering e sebelisoa bakeng sa lisebelisoa tsa makenete tsa ceramic tse sa sebetseng.Molao-motheo oa mantlha ke ho sebelisa khanya e khanyang ho otla li-ion tsa argon (AR) holim'a sepheo ka har'a vacuum, 'me li-cations tsa plasma li tla potlakisa ho potlakela sebakeng se fosahetseng sa elektrode joalo ka thepa e fafalitsoeng.Tšusumetso ena e tla etsa hore thepa ea sepheo e fofe ebe e beha holim'a substrate ho theha filimi.
Ka kakaretso, ho na le likarolo tse 'maloa tsa ho roala filimi ho sebelisa mokhoa oa sputtering:
(1) Metal, alloy kapa insulator e ka etsoa hore e be data e tšesaane ea filimi.
(2) Tlas'a maemo a loketseng a maemo, filimi e nang le sebopeho se tšoanang e ka etsoa ho tsoa ho lipheo tse ngata le tse sa tsitsang.
(3) Motsoako kapa motsoako oa lintho tse shebiloeng le limolek'hule tsa khase li ka etsoa ka ho eketsa oksijene kapa likhase tse ling tse sebetsang sepakapakeng sa ho tsoa.
4
(5) E molemo tlhahisong ea lifilimi tse ling.
(6) Likaroloana tse sputtered ha li amehe ka matla a khoheli, 'me sepheo le substrate li ka hlophisoa ka bolokolohi.
Nako ea poso: May-24-2022