1, Tokisetso ea ho lla
Ke habohlokoa haholo ho boloka kamore ea vacuum, haholo-holo tsamaiso ea sputtering e hloekile.Masala leha e le afe a entsoeng ka ho tlotsa oli, lerōle le ho roala pele ho tla bokella mouoane oa metsi le litšila tse ling, tse tla ama ka ho toba tekanyo ea vacuum le ho eketsa monyetla oa ho hlōleha ho etsa filimi.Potoloho e khuts'oane kapa li-arcing tse shebiloeng, bokaholimo ba filimi e bohlasoa le litšila tse feteletseng tsa lik'hemik'hale hangata li bakoa ke kamore e sa hloekang ea sputtering, sputtering gun le target.E le ho khomarela litšobotsi tsa sebopeho sa ho roala, ho hlokahala ho hloekisa le ho omisa khase ea sputtering (argon kapa oksijene).Ka mor'a hore substrate e kenngoe ka kamoreng ea sputtering, moea o hloka ho ntšoa ho fihlela sekheo se hlokahalang ke ts'ebetso.Sekoahelo se sireletsang sebakeng se lefifi, lebota la sekoti le sebaka se haufi le sona se hloka ho bolokoa se hloekile.Ha re hloekisa kamore ea vacuum, re buella ho sebelisa seqhomane sa bolo ea khalase ho phekola likarolo tse lerōle, hammoho le moea o hatelitsoeng ho tlosa masala a pele a sputtering ho potoloha kamore, ebe o bentša bokantle ba kantle ka aluminium e kentsoeng ka sandpaper.Kamora ho penta pampiri ea gauze, e hloekisoa ka joala, acetone le metsi a deionized.Ka kopanelo, e buella tšebeliso ea mochini o hloekisang liindasteri bakeng sa tlhoekiso e thusang.Lipheo tse hlahisoang ke tšepe ea Gaozhan li pakiloe ka mekotleng ea polasetiki e tiisitsoeng ka vacuum,
E hahiloe ka har'a sesebelisoa se thibelang mongobo.Ha u sebelisa sepheo, ka kopo u se ke ua ama sepheo ka ho toba ka letsoho la hao.Tlhokomeliso: ha u sebelisa sepheo, ka kopo roala liatlana tsa tlhokomelo tse hloekileng le tse sa lefelloeng.Le ka mohla u se ke ua ama sepheo ka ho toba ka matsoho a hau
2, Ho hloekisa sepheo
Sepheo sa ho hloekisa sepheo ke ho tlosa lerōle kapa litšila tse ka 'nang tsa e-ba teng holim'a sepheo.
Sepheo sa tšepe se ka hloekisoa ka mehato e mene,
Mohato oa pele ke ho hloekisa ka lesela le bonolo la lint le kolobisitsoeng ka har'a acetone;
Mohato oa bobeli o tšoana le oa pele, ho hloekisa ka joala;
Mohato oa 3: hloekisa ka metsi a hloekisitsoeng.Ka mor'a ho hlatsoa ka metsi a hloekisitsoeng, beha sepheo ka ontong 'me ue omise ka 100 ℃ metsotso e 30.
Ho hloekisoa ha lipakane tsa oxide le ceramic ho tla etsoa ka "lesela la mahala la lesela".
Mohato oa bone ke ho hlatsoa sepheo ka argon ka khatello e phahameng le khase ea metsi a tlaase ka mor'a ho tlosa sebaka se lerōle, e le ho tlosa likaroloana tsohle tse sa hloekang tse ka 'nang tsa etsa arc tsamaisong ea sputtering.
3. Sesebediswa se reriloeng
Ts'ebetsong ea ho kenya sepheo, litemoso tsa bohlokoa tsa Z ke ho etsa bonnete ba hore ho na le khokahanyo e ntle ea ho tsamaisa mocheso pakeng tsa sepheo le lebota le pholileng la sethunya sa sputtering.Haeba warpage ea lepa le phodileng e le matla kapa warpage ea sejana se ka morao e le matla, sesebelisoa se shebiloeng se tla peperana kapa se kobehe, 'me conductivity ea mocheso e tsoang ho sepheo sa morao ho ea ho sepheo e tla ameha haholo, e leng se fellang ka ho hlōleha ha mocheso oa mocheso. nakong ea ho fafatsa, 'me sepheo se tla peperana kapa se fose
E le ho etsa bonnete ba hore mocheso o tsamaisana le mocheso, lesela la pampiri ea graphite le ka kenngoa pakeng tsa lerako le pholileng la cathode le sepheo.Ka kopo ela hloko ho hlahloba ka hloko le ho hlakisa ho bata ha lerako le pholileng la sethunya sa sputtering se sebelisetsoang ho netefatsa hore O-ring e lula e le teng.
Kaha bohloeki ba metsi a pholileng a sebelisitsoeng le lerōle le ka 'nang la etsahala nakong ea ts'ebetso ea lisebelisoa li tla kenngoa ka tanka ea metsi a pholileng ea cathode, hoa hlokahala ho hlahloba le ho hloekisa tanka ea metsi a pholileng ea cathode ha u kenya sepheo ho etsa bonnete ba hore o boreleli. ho potoloha ha metsi a tsidifatsang le hore sekena le se kenang di ke ke tsa thijwa.
Li-cathode tse ling li reriloe ho ba le sebaka se senyenyane se nang le anode, kahoo ha u kenya sepheo, ho hlokahala ho netefatsa hore ha ho na ho ama kapa ho khanna pakeng tsa cathode le anode, ho seng joalo potoloho e khutšoanyane e tla etsahala.
Sheba Bukana ea mosebelisi oa lisebelisoa bakeng sa tlhahisoleseling mabapi le mokhoa oa ho sebetsa sepheo ka nepo.Haeba ho se na tlhahisoleseling e joalo bukeng ea mosebelisi, ka kopo leka ho kenya sesebelisoa ho latela litlhahiso tse nepahetseng tse fanoeng ke tšepe ea Gaozhan.Ha u tiisa ntho e shebiloeng, tiisa pele bolt e le 'ngoe ka letsoho, ebe u tiisa boutu e 'ngoe ho diagonal ka letsoho.Pheta sena ho fihlela liboutu tsohle tsa sesebelisoa li tiisitsoe, ebe li tiisa ka ntho e itseng.
4, Potoloho e khutšoanyane le tlhahlobo ea tightness
Kamora ho phethoa ha sesebelisoa se shebiloeng, ho hlokahala ho lekola potoloho e khuts'oane le ho tiea ha cathode kaofela,
Ho etsoa tlhahiso ea ho fumana hore na ho na le potoloho e khutšoanyane ka har'a cathode ka ho sebelisa meter ea ho hanyetsa
Khethollo ea mela.Ka mor'a ho netefatsa hore ha ho na potoloho e khutšoanyane ka har'a cathode, ho lemoha ho lutla ho ka etsoa, 'me metsi a ka kenngoa ka har'a cathode ho netefatsa hore na ho na le ho tsoa ha metsi.
5. Maikemisetso pele ho sputtering
Sepheo sa ho sputtering se buella "argon sputtering" e hloekileng, e ka hloekisang bokaholimo ba sepheo.Ha sepheo se ts'oaroa esale pele, ho khothaletsoa hore butle-butle ho eketse matla a sputtering, 'me sekhahla sa keketseho ea matla a sepheo sa ceramic ke 1.5WH / cm2.Lebelo la pele ho sputtering la target ea tšepe le ka ba holimo ho feta la ceramic target block, 'me sekhahla se lekaneng sa ho eketsa matla ke 1.5WH / cm2.
Ha re ntse re etsa sputtering, re hloka ho lekola hore na sepheo sa rona ke sefe.Nako ea pele ho sputtering hangata e ka ba metsotso e 10.Haeba ho se na ketsahalo ea arcing, tsoela pele ho eketsa matla a ho sputtering
Ho matla a behiloeng.Ho ea ka phihlelo, e amohelehang Z phahameng sputtering matla a tšepe target is
25watts / cm2, 10watts / cm2 bakeng sa sepheo sa ceramic.Ka kopo sheba motheo oa maemo le boiphihlelo ba khatello ea kamore ea vacuum nakong ea sputtering bukeng ea ts'ebetso ea sistimi ea mosebelisi.Ka kakaretso, ho lokela ho netefatsoe hore mocheso oa metsi sebakeng sa ho tsoa ha metsi a pholileng o lokela ho ba tlase ho 35 ℃, empa Z ke habohlokoa ho netefatsa hore tsamaiso ea metsi a pholileng e ka sebetsa ka katleho.
Ho potoloha ka potlako ha metsi a supercooling ho tlosa mocheso, e leng tiiso ea bohlokoa ea ho etsa bonnete ba hore ho fafatsa ho tsoelang pele ka matla a phahameng.Bakeng sa lipakane tsa tšepe, ka kakaretso ho buelloa hore ho phalla ha metsi a pholileng ho
Khatello ea metsi ea 20lpm e ka bang 5gmp;Bakeng sa lipehelo tsa ceramic, hangata ho khothaletsoa hore phallo ea metsi e be 30lpm mme khatello ea metsi e ka ba 9gmp.
6, Tlhokomelo ea sepheo
E le ho thibela potoloho e khuts'oane le li-arcing tse bakoang ke sebaka se sa hloekang nakong ea ho phunya, hoa hlokahala ho tlosa sputter e bokelletsoeng bohareng le mahlakoreng ka bobeli a pina ea sputtering ka mekhahlelo,
Sena se boetse se thusa basebelisi ho tsoela pele ho sputter ho z high power density
7、 Sepheo sa polokelo
Lipheo tse fanoeng ke tšepe ea Gaozhan li phuthetsoe ka mekotleng ea polasetiki e nang le likarolo tse peli.Re buella hore basebelisi ba boloke lipehelo, ebang ke tšepe kapa ceramic, ka har'a liphutheloana tsa vacuum.Haholo-holo, lipehelo tsa ho tlama li hloka ho bolokoa tlas'a maemo a vacuum ho thibela oxidation ea bonding layer ho ama boleng ba ho kopanya.Mabapi le ho paka lipehelo tsa tšepe, re khothaletsa hore Z e kenngoe ka mekotleng e hloekileng ea polasetiki.
Nako ea poso: May-13-2022